紫外線燈檢測(cè)應(yīng)用

路陽(yáng)除了推出新一代輕巧機(jī)型可供設(shè)備管道間之清潔管理外，另推出LUYOR-365和LPX-365高強(qiáng)度表面檢查燈，可供工作對(duì)象清潔管理之用。

路陽(yáng)的紫光微粒檢出機(jī)系利用的UV燈源，透過(guò)濾光片過(guò)濾產(chǎn)生出介于295nm 到 420nm波長(zhǎng)的紫外光。該波段針對(duì)可能具有熒光成分的塵屑（如PCB之纖維、樹(shù)酯…等）、水漬、油漬及一些容易靜電吸附的異物，具有很好的辨識(shí)效果，作業(yè)員可輕易用眼睛辨視出來(lái)，并透過(guò)無(wú)塵布的擦拭而達(dá)到清潔之目的。

由于業(yè)者常利用紫光微粒檢出機(jī)來(lái)檢查大型設(shè)備的落塵狀況，但是因?yàn)椴糠謾C(jī)臺(tái)內(nèi)部管道狹窄，人員不易進(jìn)出，故希望能縮小機(jī)臺(tái)的重量或是體積。 有鑒于此，路陽(yáng)日前正式推出輕巧型手電筒式紫光微粒檢出機(jī)，可大幅提高使用之方便性。據(jù)了解，該新機(jī)型除沿用頗受好評(píng)鋰電模塊，另提供座充及機(jī)臺(tái)直接充電兩種選擇。使用者不必?fù)?dān)心機(jī)臺(tái)使用到一半而電力耗盡，可迅速作備份鋰電模塊之更換。

除此之外，路陽(yáng)全新推出LP-40PY表面檢查燈有別于黃綠光微粒檢出機(jī)，專門適用于如晶圓、玻璃光罩、LCD ITO、DVD、光學(xué)玻璃等工作對(duì)象檢查。LP-40PY表面檢查燈利用500nm以上眼睛感覺(jué)舒服的波段，來(lái)做particle及刮傷的判別檢查。 操作者長(zhǎng)時(shí)間操作對(duì)眼睛并不造成負(fù)擔(dān)，也不容易感到疲倦。

路陽(yáng)表示，由于客戶可分別利用LUYOR-365紫光微粒檢出機(jī)及LP-40PY表面檢查燈做設(shè)備及工作對(duì)象清潔度管理，進(jìn)而提高制程良率。因此目前該公司的產(chǎn)品已獲得國(guó)內(nèi)各半導(dǎo)體、PCB、LCD及光電大廠廣泛采用。

微粒檢出機(jī)就是適應(yīng)工業(yè)越來(lái)越高的環(huán)境要求而研發(fā)生產(chǎn)的高科技表面污染檢查設(shè)備，它的應(yīng)用解決了企業(yè)制程環(huán)境適時(shí)控制問(wèn)題，受到大量工藝及制程工程師和企業(yè)主的歡迎，在提升產(chǎn)品品質(zhì)上也開(kāi)始扮演重要角色，因而也受到相關(guān)品質(zhì)部門人員的歡迎。近年來(lái)微粒檢查機(jī)越來(lái)越廣泛的應(yīng)用于工業(yè)電子及生物醫(yī)藥無(wú)塵室環(huán)境控制，其主要作用是能地將肉眼不可見(jiàn)之微粒檢出及可視化呈現(xiàn)，其適合于工業(yè)管理者對(duì)無(wú)塵室的適時(shí)檢查（手持式表面檢查燈），也可用于工業(yè)制程環(huán)境的改善和品質(zhì)控制管理（桌上型表面檢查燈）。

根據(jù)不同的制程要求有紫光、綠光及白光燈，實(shí)踐證明UV表面微粒檢查機(jī)對(duì)對(duì)曝光機(jī); 顯影機(jī)、蝕刻、黃光及偏光板貼附機(jī)臺(tái)效果為顯著。UV光是使用用人體無(wú)害的 UVA 波長(zhǎng): 365nm ，對(duì)於制程機(jī)臺(tái) or Parts Cleaner 機(jī)臺(tái)上之有機(jī)物質(zhì)，油漬、水漬、 帶靜電Paricle、毛屑、纖維、膠類物質(zhì)Particle皆可觀察。它們的應(yīng)用有利于提高環(huán)境要求，改善無(wú)塵室管理及更地控制，符合工業(yè)發(fā)展的潮流。較無(wú)法觀察金屬鐵屑、玻璃及白底的地方，需強(qiáng)光或換一個(gè)較暗的背景。