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簡(jiǎn)要描述:便攜式半導(dǎo)體材料氣體檢測(cè)器XPS-7檢測(cè)對(duì)象:毒氣/半導(dǎo)體材料氣體檢測(cè)范圍:根據(jù)規(guī)格而定檢測(cè)原理:定電位電解式檢測(cè)方式:自動(dòng)吸引式應(yīng)用行業(yè):石油化工、半導(dǎo)體制造
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便攜式半導(dǎo)體材料氣體檢測(cè)器XPS-7
檢測(cè)對(duì)象
毒氣/半導(dǎo)體材料氣體
檢測(cè)范圍
根據(jù)規(guī)格而定
檢測(cè)原理
定電位電解式
檢測(cè)方式
自動(dòng)吸引式
應(yīng)用行業(yè)
石油化工、半導(dǎo)體制造
01.便攜式氣體檢測(cè)器產(chǎn)品特點(diǎn)
只需要更換傳感器單元就可以檢測(cè)各種對(duì)象氣體
用盒式傳感器單元無需進(jìn)行氣體檢測(cè)器校正
可以大幅度削減成本和維護(hù)時(shí)間
02.便攜式氣體檢測(cè)器產(chǎn)品用途
半導(dǎo)體工廠/石油化學(xué)工廠等
在使用半導(dǎo)體材料氣體/毒性氣體的現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行泄漏檢測(cè)
03.對(duì)象氣體
04.便攜式半導(dǎo)體材料氣體檢測(cè)器XPS-7產(chǎn)品參數(shù)
在半導(dǎo)體工藝制程中,需要使用多種特殊氣體、大量的酸、堿等化學(xué)品以及有機(jī)溶劑和揮發(fā)性液體,這些氣體和化學(xué)品在半導(dǎo)體制造的不同工藝中使用會(huì)產(chǎn)生廢氣。半導(dǎo)體企業(yè)廢氣一般分為酸性排氣、堿性排氣、有機(jī)廢氣、砷排和一般排氣等。
半導(dǎo)體行業(yè)廢氣主要為有機(jī)廢氣和酸堿廢氣兩類。有機(jī)類有:非甲烷總烴、氮氧化物、二氧化硫等;酸堿類有:氨氣、硫酸霧、氟化物、氯化物、氯氣等。在半導(dǎo)體行業(yè)中造成環(huán)境污染的有害氣體,主要來源于芯片或者是線路板生產(chǎn)的清洗、均膠、去膠、刻蝕、顯影過程中。
半導(dǎo)體行業(yè)主要是元器件組裝焊接過程中對(duì)大氣的污染和電路板等器件清洗等表面處理過程中因使用一些化學(xué)藥劑(如硫酸、鹽酸、氟氯化碳、四氯化碳、三氯乙烷及其他有機(jī)鹵化物)揮發(fā)造成對(duì)大氣環(huán)境的污染,以及整機(jī)裝配過程中產(chǎn)生的機(jī)械噪聲和少量粉塵也會(huì)造成環(huán)境污染,這些污染氣體會(huì)造成人群慢性或急性中毒。
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